等離子設(shè)備_具備*的氣密性與耐用性

時(shí)間：2021-09-16作者：上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司瀏覽：76

等離子設(shè)備_具備*的氣密性與耐用性


等離子設(shè)備_桌面型多功能等離子處理系統(tǒng)概要：
是針對(duì)研發(fā)、試產(chǎn)需求設(shè)計(jì)的桌面型多功能等離子處理系統(tǒng)。其緊湊可靠的設(shè)計(jì)可在真空腔室內(nèi)產(chǎn)生密集、均勻的等離子體，適用于等離子表面處理、表面刻蝕以及其它多種工藝應(yīng)用。




桌面型多功能等離子設(shè)備特點(diǎn)： 
·設(shè)計(jì)緊湊的桌面型等離子工藝平臺(tái)，易于與廠務(wù)端連接
·可靠的腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保工藝腔體具備*的氣密性與耐用性
·優(yōu)秀的進(jìn)氣、排氣設(shè)計(jì)，保證工藝過程的均勻性
·支持多種電極形式與較多4路工藝氣體，適用于處理各種產(chǎn)品并適應(yīng)多種工藝要求
·直觀的圖形控制界面，通過觸屏可實(shí)時(shí)觀察、控制工藝過程
·13.56MHz射頻電源與自動(dòng)匹配系統(tǒng)，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復(fù)性



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