阿爾泰產(chǎn)品在無塵室環(huán)境中的應用

時間：2020-08-31

    關鍵詞：數(shù)據(jù)采集模塊 DAM-3000 阿爾泰
    作者：阿爾泰
    摘要：本文簡要介紹用DAM-3000 系列數(shù)據(jù)采集模塊構成一個全面的無塵室監(jiān)測系統(tǒng)的**


概述

   無塵室是半導體生產(chǎn)的關鍵設施。不對生產(chǎn)過程進行嚴格的控制將產(chǎn)生有缺陷的芯片并且浪費寶貴的資源。對無塵室環(huán)境的監(jiān)控包括管理空氣過濾系統(tǒng)、控制系統(tǒng)以及監(jiān)測室內(nèi)的溫度、濕度、壓力、氣體成分和其它參數(shù)。為半導體制造商工作的現(xiàn)場工程師希望能夠連續(xù)簡單地使用無塵室環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)。這樣的系統(tǒng)應該能夠收集數(shù)據(jù)進行分析，確保制造過程在可接受的參數(shù)下進行，從而防止問題的發(fā)生。系統(tǒng)應該確保加工過程符合半導體工業(yè)標準 - 一個非常重要的因素。用DAM-3000 系列數(shù)據(jù)采集模塊構成一個全面的無塵室監(jiān)測系統(tǒng)的**。它們提供了一個經(jīng)濟的、易于實施的解決方案。

系統(tǒng)要求

   半導體制造商需要靈活、易于使用的系統(tǒng)。操作員需要獲取和分析整個工廠的信息，這些信息通過輪流查詢詢遍布工廠的遠程傳感器而得到。他們想將一個新的系統(tǒng)增加到現(xiàn)有的加工過程和設備中，而不干擾或修改已經(jīng)建設好的控制系統(tǒng)。自然地，制造商想要一個低成本的解決方案，并且在理想狀況下應該是一個總監(jiān)管系統(tǒng)。

系統(tǒng)配置：

產(chǎn)品型號 性能指標

DAM-3018

繼電器輸出：8路A型繼電器

LED指示輸出狀態(tài)

   DAM-3058

輸入類型：V、mA

輸入通道：6路差分，2路單端/8路差分

   DAM-3027 輸入：8路TTL電平

邏輯電平0： 1V max

邏輯電平1： 2.4V min

輸出：8路TTL輸出

阿爾泰解決方案

我們開發(fā)了一個基于 RS-485多點網(wǎng)絡的解決方案。為保護無塵室，系統(tǒng)必須有效可靠地監(jiān)視過濾器風扇。DAM-3027 數(shù)字量輸入輸出模塊可以很好地執(zhí)行這項重要任務。DAM-3058 具有 8 路模擬量輸入處理能力，能夠精確地監(jiān)視空氣溫度、壓力和濕度，防止塵埃的增加。

風淋室是為工作人員進出潔凈區(qū)所設置的**通道，可以有效的降低外部人員進入潔凈區(qū)所帶來的污染問題，并同時起到氣閘室密閉潔凈室的作用。風淋室通用性強，可與所有的潔凈室與潔凈廠房配套使用。使用DAM-3026模塊來控制風淋室和貨料進入的門禁系統(tǒng)，防止外來人員的入內(nèi)，增加無塵室的塵埃，影響生產(chǎn)。DAM-3018來控制鼓風機的運轉(zhuǎn)，一般的風淋室的風速要達到20m/s左右，普通的風扇達不到這種要求，所以需要風機來操作。

詞條
詞條說明
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