等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長(zhǎng),受電場(chǎng)作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達(dá)到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。利用等離子處理時(shí)會(huì)發(fā)出輝光,故稱之為輝光放電處理。
等離子體清洗的機(jī)理,主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來看,等離子體清洗通常包括以下過程:無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。
等離子體清洗技術(shù)的較大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型,均可進(jìn)行處理,對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。
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上海軒儀儀器設(shè)備有限公司銷售的真空等離子清洗機(jī)和等離子表面處理設(shè)備(plasma)設(shè)備品種齊全,經(jīng)驗(yàn)豐富,技術(shù)完善,竭誠(chéng)為廣大客戶提供等離子表面處理方面、全面的服務(wù),歡迎廣大客戶蒞臨!我們提供免費(fèi)的前期打樣服務(wù),讓客戶滿意效果后再進(jìn)行采購(gòu)。上海軒儀儀器設(shè)備有限公司提供的大氣與真空型等離子設(shè)備選型:如果需要處理不規(guī)則的工件,或者需要處理工件內(nèi)部表面的,則應(yīng)該選擇真空型等離子清洗機(jī),真空等離子清洗機(jī),
上海軒儀儀器設(shè)備有限公司為深圳市方瑞科技有限公司在上海設(shè)立的辦事處,致力于真空等離子清洗機(jī)和常壓等離子表面處理設(shè)備(plasma)銷售和的科技企業(yè),公司密切注視國(guó)內(nèi)外等離子技術(shù)發(fā)展趨勢(shì),結(jié)合國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的實(shí)際情況,在行業(yè)內(nèi)形成了*特的優(yōu)勢(shì)。等離子體的化學(xué)特性幾乎取決于原料氣體。例如,O2, N2, N2O, CO2等可產(chǎn)生氧化性等離子體。這些氣體用于把表面對(duì)于極性溶液變得較加浸潤(rùn),或者親水。這是通過等
【等離子清洗設(shè)備】等離子清洗機(jī)具體應(yīng)用
等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長(zhǎng),受電場(chǎng)作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達(dá)到清洗的效
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