化學(xué)氣相沉積技術(shù)是應(yīng)用氣態(tài)物質(zhì)在固體上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)并產(chǎn)生固態(tài)沉積物的一種工藝。它大致包含三步:
(1)形成揮發(fā)性物質(zhì);
(2)把上述物質(zhì)轉(zhuǎn)移至沉積區(qū)域;
(3)在固體上產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)并產(chǎn)生固態(tài)物質(zhì)。
較基本的化學(xué)氣相沉積反應(yīng)包括熱分解反應(yīng)、化學(xué)合成反應(yīng)以及化學(xué)傳輸反應(yīng)等集中。
工藝特點
(1)在中溫或高溫下,通過氣態(tài)的初始化合物之間的氣相化學(xué)反應(yīng)而形成固體物質(zhì)沉積在基體上。
(2)可以在常壓或者真空條件下(負(fù)壓“進(jìn)行沉積、通常真空沉積膜層質(zhì)量較好)。
(3)采用等離子和激光輔助技術(shù)可以顯著地促進(jìn)化學(xué)反應(yīng),使沉積可在較低的溫度下進(jìn)行。
(4)涂層的化學(xué)成分可以隨氣相組成的改變而變化,從而獲得梯度沉積物或者得到混合鍍層。
(5)可以控制涂層的密度和涂層純度。
(6)繞鍍件好??稍趶?fù)雜形狀的基體上以及顆粒材料上鍍膜。適合涂覆各種復(fù)雜形狀的工件。由于它的繞鍍性能好,所以可涂覆帶有槽、溝、孔,甚至是盲孔的工件。
(7)沉積層通常具有柱狀晶體結(jié)構(gòu),不耐彎曲,但可通過各種技術(shù)對化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行的氣相擾動,以改善其結(jié)構(gòu)。
(8)可以通過各種反應(yīng)形成多種金屬、合金、陶瓷和化合物涂層。
詞條
詞條說明
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