上海伯東美國 HVA 真空插板閥在半導(dǎo)體管道中的應(yīng)用

時間：2024-01-11作者：伯東企業(yè)（上海）有限公司瀏覽：17

半導(dǎo)體后端工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體,氣體管路系統(tǒng)(真空管路)的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi). 上海伯東美國 HVA 插板閥廣泛用于高真空或高真空的氣體輸送環(huán)節(jié), 用來改變氣流方向, 調(diào)節(jié)氣流量大小, 切斷或接通管路, 起到真空隔離密封等作用. 美國 HVA 6寸, 8寸 真空插板閥已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路中!

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伯東公司成立于1953 年，過65年歷史。

上海伯東所有產(chǎn)品保證**進口，擁有強大售后服務(wù)團隊，擁有的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務(wù)。

上海伯東是美國 HVA 插板閥在中國地區(qū)總代理商.

 

上海伯東美國 HVA 插板閥優(yōu)勢：

滿足高真空（1E10-9  mabr）和高真空（1E10-10 mbar）應(yīng)用；

HVA 閘閥口徑 DN 16 至 800 mm；

堅固，長使用壽命，可達1,000,000 啟動次數(shù)；

清潔和高密封性保證 HVA 進口閥門與低溫泵、渦輪分子泵，離子泵等聯(lián)用；

雙向密封,小漏率 < 2x10-9  mbar l/S；

可選擇驅(qū)動方式多，手, 氣, 電動可選；

有效保護分子泵。氣動和電動均帶信號反饋裝置, 與分子泵和腔體連用時可以起到截斷一些特殊氣體, 保護分子泵的作用；

標準或定制法蘭滿足不同應(yīng)用；

標準，全部美國設(shè)計, 制造, 組裝, 進口。

美國 HVA 過40年的閥門研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗,與友廠對比,HVA 閘閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 了虛漏的可能.

 

在售產(chǎn)品：

HVA 真空閘閥, 真空插板閥 11000 系列

HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列

HVA 真空閘閥, 真空插板閥 81000 系列

HVA 鋁制真空閘閥, 真空插板閥 83000 系列

HVA 三位真空閘閥, 真空插板閥 21700 系列

HVA 真空閘閥, 真空插板閥 71000 系列

HVA 真空隔離閘閥 16000 系列

HVA 真空層流閘閥 13000系列

HVA 真空閘閥 72000 系列

HVA 真空角閥 4000系列

HVA 半矩形真空閘閥 28200系列

HVA 閉合回路閘閥 21800系列

HVA 矩形板閥 28200＆88200 系列

HVA 真空閘閥 31200 系列

 


上海伯東是德國 Pfeiffer 真空設(shè)備, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口的代理商 .我們真誠期待與您的合作！

 

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上海伯東: 羅女士


伯東企業(yè)（上海）有限公司專注于pfeiffer,氦質(zhì)譜檢漏儀,inTEST等

• 詞條

  詞條說明

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