旋片真空泵的使用方法
1、使用前,應(yīng)仔細閱讀產(chǎn)品使用說明書,開箱后應(yīng)檢查裝運質(zhì)量,收好備品備件和技術(shù)文件,拆除排氣品防護件。按要求安裝,接線,試轉(zhuǎn)向。水泠泵接水。
2.為防止因返油與反轉(zhuǎn)而噴油,應(yīng)先開啟泵口,按規(guī)定轉(zhuǎn)向把泵內(nèi)存油用手盤到油箱中,同時查看油位,應(yīng)在油標中心以上,但不要滿油標,多了要放
3、判斷轉(zhuǎn)向的輔助方法,把護套倒放在家口上,如開系后被吸住,是正向,被攻落,是發(fā)向,聲音正常是正向,聲音異家是反間。
4、如在泵口配裝帶充氣電磁閥,一般應(yīng)橫裝,并與泵同時動作。
5.、相對濕度較高或被抽氣體中含水汽等可凝性蒸汽時,應(yīng)使用氣鎮(zhèn)潤。
6.按說明書推薦選用真空泵油,注意酶類真空系油不可與礦油型真空家油和其他油*品用,必原嚴格清洗后才相接入酷類真空家油。
7.檢查泵的極限壓力以壓痛式水銀真空計為準,全壓力計應(yīng)注意做好計與規(guī)管的配對校準和備用比對規(guī)管,建議在規(guī)管與被類系之間裝一球明,不時關(guān)網(wǎng),可延長規(guī)管使用時間。
8、清洗。不宣漫洗,以免洗液進入拼接轉(zhuǎn)子內(nèi)部,不易排出。
9、拆裝。要按照使用說明書推薦和規(guī)定有序進行。記好位置,合理擺放,以免錯裝。
詞條
詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
真空泵發(fā)生漏油的原因是什么?1、軸承位變形,可修復(fù)軸承位置。2、軸承磨損嚴重,可拆開檢查是否因軸承磨損而產(chǎn)生漏油,如是磨損所致可換軸承。3、密封套件硬化致使密封性能降低或者嚴重失效,可換掉整套密封套件解決失效問題。4、檢查泵油和管路,查看漏油的部位,密封螺絲,管路,管路接口,油箱體...5.、泵體連接部位螺絲松開而漏油,擰緊螺絲解決問題。6、真空泵長時間沒有進行保養(yǎng),可拆解開真空泵,清洗油箱、泵腔
真空泵選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到較高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此,為達到不同產(chǎn)品的工藝指標、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到較佳配置,選擇真空系統(tǒng)時,?應(yīng)考慮下述各點:確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,
真空泵的安裝1、安裝安裝場所寬闊、采光良好,空氣的相對濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風(fēng)良好。環(huán)境溫度:5—30攝氏度。環(huán)境壓力:大氣壓。預(yù)留保養(yǎng)空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵*空間距離應(yīng)有1米以上,預(yù)留通道,以便維修保養(yǎng)。真空泵運作時,表面溫度可以達到72℃以上,小心燙傷。請確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。?2、配管、基礎(chǔ)主管路配管時,管路通徑不能小于真空泵的進氣
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