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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
如何使用讓旋片式真空泵好的操作(1)使用旋片式真空泵前,按油標指示刻度加入真空泵油。旋轉三通閥,使泵的吸氣管與大氣相通,而與被抽空容器隔絕,打開排氣口。(2)用手轉動皮帶輪,檢查運轉情況,無異常情況后,再接通電源,注意轉動方向。(3)泵運轉正常后.緩慢旋轉三通閥,使泵的吸氣管與被抽空容器相通而與大氣隔絕。(4)停止使用泵時,欲保持真空系統有一定的真空度,應旋轉三通閥,使真空系統封閉,泵的吸氣管與大
單級真空泵和雙級真空泵有什么區(qū)別一、特點不同1、雙級真空泵特點:前級泵轉子上的葉片槽采用了斜葉片槽,相鄰兩片葉片(轉子和泵體)形成的大封閉工作空間增大,提高了抽真空速度。前真空泵后,后真空泵串聯。前真空泵內有害空間氣體被后真空泵*吸入,提高抽氣的真空度。2、單級真空泵特點:吸氣口安裝有金屬絲網的粗過濾器。它可以防止固體顆粒被吸入泵室。油分離器配有一個高效的油氣分離排氣轉換開關。當泵停止時,吸入口
日常維護1、定期做保養(yǎng)時,將散熱油管及其它油路管拆卸下來進行清洗和疏通。2、當真空泵積碳嚴重時,必須進行大的維護保養(yǎng)工作,必要時需換油路管。因為,當真空泵積碳后,不知道油管內壁會有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生,及時處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風冷的情況下能好的降低真空泵溫度,達到穩(wěn)定的真空度。故而在搬運、使用時小心對待。5、由于該產品采用鋁質材質,質
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
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地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
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