ZYGO ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀


    北京儀光科技有限公司專注于三維光學(xué)輪廓儀,共聚焦白光干涉儀,各類型的金相顯微鏡等

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  • 3D光學(xué)輪廓儀主要應(yīng)用

    測量動態(tài)MEMS設(shè)備?光學(xué)輪廓儀是確定MEMS設(shè)備表面特征的一種非常有用的工具。傳統(tǒng)意義上,光學(xué)輪廓儀被用來測量樣品的表面特性。但是,在測量過程中,所測量的樣品需保持在靜止的狀態(tài)下,如果樣品不穩(wěn)定或者處于運動狀態(tài)則會引起圖像混亂模糊、數(shù)據(jù)不完整或者數(shù)據(jù)丟失等現(xiàn)象。然而,對于MEMS設(shè)備,需要確定該設(shè)備處于運動狀態(tài)時的形貌特征,了解和確定其在運動狀態(tài)下的功能和特征對研發(fā)和生產(chǎn)質(zhì)量控制至關(guān)重

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    可直接用于生產(chǎn)的三維光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)。ZeGage? Pro?和 ZeGage? Pro HR 三維光學(xué)輪廓儀可對多種類型表面的微米和納米級特征進行非接觸式測量和表征,實現(xiàn)制造環(huán)境中的質(zhì)量控制和過程監(jiān)控。我們行業(yè)的 ZeGage Pro 系列由于其的性能、易用性、靈活性和精度為臺式工業(yè)非接觸表面輪廓儀設(shè)立了行業(yè)標準。ZeGage Pro 在 ZYGO 專有 CSI 技術(shù)的基礎(chǔ)上,采用一系列

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    NewView? 9000 3D光學(xué)輪廓儀提供了強大、多功能的非接觸式光學(xué)表面分析。它可以簡單和快速地測量各種表面類型,包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測量都是無損、快速、樣品制備的。ZYGO相干掃描干涉技術(shù)(CSI)是系統(tǒng)的技術(shù),在所有放大倍數(shù)下實現(xiàn)亞納米的精度,并且能夠快速準確的測試各種樣品表面,為客戶提供高率的體驗。性能,和多樣性靈活性是ZYGO NewView產(chǎn)品的標志。N

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