半導體行業(yè)中氣體檢測儀的應用

時間：2022-06-09

半導體行業(yè)中氣體檢測儀的應用

智能手機、平板電腦、游戲機、導航系統(tǒng)、純平顯示器，這些以及其他很多高科技產品由于半導體產業(yè)才得以存在。在半導體芯片生產線制程工藝中，會使用到特種工藝氣體，也會產生大量危險性氣體，需要使用氣體檢測儀對空氣中有毒有害氣體含量進行檢測，防止因氣體泄漏，導致危險發(fā)生。

（東日瀛能 SK/MIC-800-GAS-Y 便攜式氣體檢測儀）

特種工藝氣體

目前，應用于半導體產業(yè)的特種氣體有110余種，常用的有20-30種。

按其危險性分類可分為：惰性氣體、易燃氣體、毒性氣體、腐蝕性氣體、氧化性氣體、低溫氣體。

1惰性氣體

不可燃氣體有N2、Ar、He等，它們具有窒息性，即取代肺中的氧氣后能讓人窒息而死。

2易燃氣體

易燃氣體有C2H2、H2、CH4、SIH4、PH3、NH3等，它們具有窒息性，可燃性，其中有些氣體如H2、CH4、SIH4、PH3還具有爆炸的可能性。

3毒性氣體

毒性氣體有AsH3、PH3、COCL2等,它們的毒性對身體有害，有的可能造成人員中毒死亡。中毒途徑有吸人、吸收(通過皮膚)、吞食、注射(通過傷口)。

4腐蝕性氣體

腐蝕性氣體可分為低腐蝕性氣體如HF、BCL3、和高腐蝕性氣體如HCL、BF3、二氯甲烷(DCS)、三氯甲烷(TCS)及三氯化氯(CLF3)等，它們具有摧毀人的生理組織以及腐蝕設備的危害。

5氧化氣體

氧化性氣體有O2、N20等它們具有助燃性、高反應性。

6低溫氣體

低溫液體是指在常壓下沸點**-240，例如：液氧、液氬、液氮、液氫、液氦。它們的低溫可能會引起凍傷，以及引起周圍物品的損傷危險，包括過冷、過大的體積膨脹。

（東日瀛能 SK-7500-GAS-Y 固定污染源廢氣氣體在線監(jiān)測預處理系統(tǒng)）

廢氣

半導體芯片生產過程中，會產生大量的有毒有害氣體

主要包括：酸堿廢氣和**廢氣兩類。

酸/堿廢氣包括：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

**廢氣包括：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；

主要危害：

半導體芯片生產線的切題危害，主要是器件清洗等表面處理過程中因使用一些化學藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他**鹵化物）揮發(fā)造成的，以及整機裝配過程中產生的粉塵，會造成人群慢性或急性中毒。

檢測儀器

東日瀛能SK/MIC-600-GAS-Y固定式可燃有毒有害氣體濃度檢測儀與SK/MIC-800-GAS-Y便攜式可燃有毒有害氣體濃度檢測儀采用進口傳感器，抗中毒，高穩(wěn)定性高精度，可實時在線監(jiān)測其濃度，自帶顯示與聲光報警。固定式自帶4-20MA、RS485以及開關量輸出，可定制無線傳輸數據，高低報警值自由設置，當氣體濃度**標時，自動發(fā)出85dB以上的報警聲響，聯(lián)動排氣扇等設備，做出相應的防護動作。精度高、穩(wěn)定性強、誤差率低；配備工業(yè)級鋁合金防護外殼，堅固耐用。

（東日瀛能 SK/MIC-600-GAS-Y 固定式氣體檢測儀）

18688795860

詞條
詞條說明
為何需要氮氣檢測，氮氣檢測儀的使用場合
為何需要氮氣檢測，氮氣檢測儀的使用場合空氣中的氮氣，一向被人看作是一種懶惰的氣體。它似乎對什么都不感興趣，既不幫助燃燒，也不維持生命。我國清末*的化學啟蒙者徐壽，在一次把氮氣譯成中文時，寫成“淡氣”，意思是說它沖淡了空氣中的氧氣。人們就利用氮氣這種孤獨的脾氣，來為人類服務。?（東日瀛能?SK/MIC-600-N2-Y?在線式氮氣檢測儀）氮氣在化學工業(yè)、石油工業(yè)、電子
復合氣體檢測儀使用方法
復合氣體檢測儀使用方法1、確定檢測位置；2、打開復合氣體檢測儀電源，待檢測儀自檢及預熱完成進入檢測狀態(tài)后，將探頭置于待檢測氣體濃度的區(qū)域；3、將氣體檢測儀顯示區(qū)顯示測量到的氣體濃度做好記錄；4、根據測量結果，依據相關應急預案做好處理。技術要求及安全注意事項1、為保證復合氣體檢測儀的測量精度，應定期對氣體檢測儀（每年一次）進行標定；2、復合氣體檢測儀每次連續(xù)充電時間應不**8小時，并應在關機狀態(tài)下充
有限空間、隧道可燃氣、有毒有害氣體檢測標準與其檢測儀器
有限空間、隧道可燃氣、有毒有害氣體檢測標準與其檢測儀器有限空間與隧道中存在的有毒有害氣體一直是施工中的主要危險源，如果施工不當易發(fā)生重大事故。有限空間與隧道中有害氣體主要有可燃氣、、二氧化碳、、和數量不等的重烴以及微量的稀有氣體等。根據化學性質我們將這些有毒有害氣體分為可燃氣體與有毒氣體兩大類。以下為各個氣體的標準限值：1、含氧量O2應為19.5%～23.5%，若空氣中含氧量19.5%或23.5%
水泥大省發(fā)布工業(yè)大氣污染物排放標準，廢氣在線監(jiān)測系統(tǒng)
水泥大省發(fā)布工業(yè)大氣污染物排放標準，廢氣在線監(jiān)測系統(tǒng)江蘇省地方標準《水泥工業(yè)大氣污染物排放標準》，該標準適用于現(xiàn)有水泥工業(yè)企業(yè)或生產設施的大氣污染物排放管理，以及水泥工業(yè)建設項目的環(huán)境影響評價、環(huán)境保護設施設計、竣工環(huán)境保護驗收、排污許可及其投產后的大氣污染物排放管理。現(xiàn)在企業(yè)自2022年7月1日起至2024年1月1日前，執(zhí)行表1中Ⅰ階段規(guī)定的大氣污染物排放濃度限值；自2024年1月1日起，執(zhí)行表