美國Aerotech空氣軸承直驅旋轉平臺ABRS

時間：2021-05-19

作者：天津瑞利光電科技有限公司

產品介紹：

直接驅動，無槽，無刷伺服電機

零齒槽電機，速度穩(wěn)定性

誤差運動和擺動性能

直聯式高精度旋轉編碼器

薄型平面設計

沒**械接觸

Aerotech的ABRS系列旋轉氣浮載物臺以薄的外形提供了角度定位，速度穩(wěn)定性和誤差運動性能。ABRS旨在滿足晶圓檢查，高精度計量，X射線衍射系統，光學檢查和制造以及MEMS /納米技術設備制造的嚴格要求。

緊湊包裝

ABRS系列直接驅動旋轉平臺的設計已經過優(yōu)化，可大程度地減少平臺高度。平臺的低矮外形降低了系統的有效工作高度，從而減少了與“堆積”有關的錯誤。除了較低的總高度外，ABRS系列還提供了一個通孔，可用于產品直通，激光束傳輸，電纜間隙或特定應用的要求。

機械設計

ABRS設計具有大的空氣軸承表面，具有很高的剛度和承載能力，不僅產生軸向和徑向誤差運動，而且產生的傾斜誤差運動。所產生的面誤差運動明顯**其他旋轉式空氣軸承工作臺和主軸，受益于需要平面性能的應用。

無刷直驅

為了較好的定位性能，ABRS系列采用了Aerotech的S系列無槽無刷電機。電機采用磁路設計，可產生高扭矩輸出，而產生的熱量少。無槽設計本質上是零齒槽和無轉矩紋波。這使得ABRS位移臺非常適合需要低速或高速掃描速度的應用。

準確定位

光學編碼器是ABRS的標準配置。與Aerotech的反饋乘法器和控件配合使用時，分辨率可達到<0.03弧秒。

定制設計

定制版本的ABRS可用于費率表和慣性制導試驗臺應用。

參數：

寬度：150 mm

桌面直徑：128.1 mm

高度：80 mm

孔徑：8 mm

總行程：360°連續(xù)

總線電壓：80 VDC

基本編碼器分辨率：3600行/轉

轉速：max.300 rpm

精度：±3角秒

雙向重復性：<2弧秒

負荷

軸向：8 kg

徑向：4 kg

傾斜：3 N-m

軸向誤差運動（同步）：<175 nm

徑向誤差運動（同步）：<450 nm

傾斜誤差運動（同步）：<9.7 μrad（<2.0弧秒）

軸向誤差運動（異步）：<20 nm

徑向誤差運動（異步）：<20 nm

傾斜誤差運動（異步）：<0.4 μrad（<0.08弧秒）

工作壓力：80 psig（5.5 bar）+ 0 psig（0.0 bar）/-10 psig（0.7 bar）

空氣消耗：<56.6 SLPM（<2 SCFM）

材料：鋁

表面：硬涂層（62洛氏硬度）

慣性卸載：3850 kg-mm2

總質量：4.8公斤

詞條
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