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時間：2020-03-05

低溫泵

低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵是獲得清潔真空的極限壓力低、抽氣速率大的真空泵，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。

抽氣原理

在低溫泵內設有由液氦或制冷機冷卻到較低溫度的冷板。它使氣體凝結，并保持凝結物的蒸汽壓力**泵的極限壓力，從而達到抽氣作用。

低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。①低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時，冷板溫度必須** 25K；抽氫時，冷板溫度較低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達10毫米左右。②低溫吸附：氣體分子以一個單分子層厚 (10-8厘米數(shù)量級)被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。2K和20K工作冷板均用50～100K的冷板來屏蔽，以減少工作冷板所接受的輻射熱。

動密封多用軸封，上軸封時要細心，先檢查軸封本身有無缺陷，密封面是否平整，軸封簧彈性如何，在軸封內側可薄薄地涂上一層真空脂，上軸封時用力要均，骨架軸封不要壓偏了，偏了就會漏油、漏氣，軸封簧別擠進去，沒了軸封簧軸封就失效了。注意軸封與軸的同心度，有的泵是用對輪連接的，對輪的同軸性要求很嚴格，裝配時要從軸的四面去量，保證平行一致。羅茨泵的對齒輪調整的關鍵是兩個8型齒輪不相碰。54kPa的高度真空，這時凝汽器中的汽氣混合物，由于壓差作用沖開逆止閥，被不斷地抽到混合室內，并同工作水一道通過噴射管、噴嘴和擴散管被排出。

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低溫泵低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵是獲得清潔真空的極限壓力低、抽氣速率大的真空泵，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。抽氣原理在低溫泵內設有由液氦或制冷機冷卻到較低溫度的冷板。它使氣體凝結，并保持凝結物的蒸汽壓力**泵的極限壓力，從而達到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、
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真空爐的創(chuàng)造和發(fā)展對人類進步起著十分重要的作用。中國在商代出現(xiàn)了較為完善的煉銅爐，爐溫達到1200℃，爐子內徑達0.8米。在春秋戰(zhàn)國時期，人們在熔銅爐的基礎上進一步掌握了提高爐溫的技術，從而生產出了鑄鐵。 1794年，世界上出現(xiàn)了熔煉鑄鐵的直筒形沖天爐。后到1864年，法國人馬丁運用英國人西門子的蓄熱式爐原理，建造了用氣體燃料加熱的首臺煉鋼平爐。他利用蓄熱室對空氣和煤氣進行高溫預熱，從而保證了煉